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    題名: Sputtering C-axis-oriented AlN Thin Films on LiTaO3
    作者: Fu, Guo-Zhang;Lee, Maw-Shung;Wu, Sean;吳信賢;Yu, Jian-Shuo;Lin, Zhi-Xun;(東方技術學院電子與資訊系)
    貢獻者: (東方技術學院電子與資訊系)
    日期: 2007-12-10
    上傳時間: 2010-05-13 19:48:32 (UTC+8)
    關聯: The 5th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (APSPT-5)
    顯示於類別:[電子與資訊系(遊戲動畫系、動畫科)] 會議論文

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