TUNG FANG Institutional Repository:Item 987654321/771
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    題名: Sputtering (103) Oriented AlN Films and its Acoustic Wave Mode Analysis
    作者: Wu, Sean;吳信賢;Ro, Ruyen;Lee, Maw-Shung;Lin, Zhi-Xun;(東方技術學院電子與資訊系)
    貢獻者: (東方技術學院電子與資訊系)
    關鍵詞: Sputtering;AlN;(103) oriented;FBAR
    日期: 2007-03-08
    上傳時間: 2010-05-13 19:25:06 (UTC+8)
    關聯: Japan-Taiwan Workshop on Future Frequency Control Devices
    顯示於類別:[電子與資訊系(遊戲動畫系、動畫科)] 會議論文

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