TUNG FANG Institutional Repository:Item 987654321/376
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    题名: The influence of varied sputtering condition on piezoelectric coefficients of A1N thin films
    作者: 高國陞;Kao, Kuo-Sheng;Chung, Chung-Jen;Chen, Ying-Chung;Ou, Tien-Fan;Shing, Tai-Kang;(東方技術學院電子與資訊系)
    贡献者: 東方技術學院電子與資訊系
    关键词: aluminum nitride;piezoelectric coefficient;periodic compression force
    日期: 2004-08-23
    上传时间: 2009-11-27 10:04:23 (UTC+8)
    關聯: 2004 14th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics—ISAF-04
    显示于类别:[電子與資訊系(遊戲動畫系、動畫科)] 會議論文

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